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分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统.对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析.
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Source ：
激光杂志
ISSN： 0253-2743
Year： 2006
Issue： 3
Volume： 27
Page： 69-70
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