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刘乃鑫 (刘乃鑫.) | 王怀兵 (王怀兵.) | 刘建平 (刘建平.) | 牛南辉 (牛南辉.) | 韩军 (韩军.) | 沈光地 (沈光地.)

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采用金属有机物化学气相淀积技术(MOCVD)在蓝宝石衬底上低温(870-980℃)生长p型氮化镓(p-GaN).用Hall测试仪测量材料的电学性能,发现当温度低于900℃时,材料的电阻率较高;在900-980℃均可获得导电性能良好的p-GaN.另外,电导性能除与掺杂浓度有关,还与p-GaN生长条件有关,氮镓摩尔比过低导电性能就较差,过高则会引起表面粗糙.采用优化后的p-GaN制作了绿光发光二极管器件,发现生长温度越低器件发光强度越高,反向电压也越高,但正向电压只是略有升高.

Keyword:

发光二极管 Ⅲ-Ⅴ族半导体 氮化镓 金属有机物化学气相淀积

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Source :

物理学报

ISSN: 1000-3290

Year: 2006

Issue: 3

Volume: 55

Page: 1424-1429

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