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为了开发一套以微小物体为操作对象的操作系统,讨论了微操作机器人的机构选型、微位移器的选用、显微图像的特点及其处理方法. 采用基于数学分析与实验结果相结合得到的控制模型,实现了压电陶瓷的开环控制,最后对该系统进行了微动写字实验. 结果表明:该系统能够通过显微视觉系统使微操作对象和操作过程可视化,在足够大的工作空间内按照规划轨迹进行运动,并能保证微操作手末端运动分辨率达到0.1μm.
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Source ：
北京工业大学学报
ISSN： 0254-0037
Year： 2005
Issue： 1
Volume： 31
Page： 1-5
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