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利用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积在Mo基体上制备了不同织构的金刚石厚膜.用扫描电境(SEM)观察金刚石膜的形貌,用XRD表征晶体取向,用极图和取向分布函数法计算金刚石膜的不同织构,利用三点弯曲法测量金刚石膜的断裂强度.结果表明,金刚石膜的断裂强度随着衍射峰强度比值I(111)/I(220)的增大而不断降低.{110}织构的金刚石膜具有最高的断裂强度.
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金属热处理
ISSN： 0254-6051
Year： 2005
Issue： 6
Volume： 30
Page： 2-5
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