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周怀恩 (周怀恩.) | 朱秀红 (朱秀红.) | 胡跃辉 (胡跃辉.) | 马占杰 (马占杰.) | 张文理 (张文理.) | 李 瀛 (李 瀛.) | 陈光华 (陈光华.)

Indexed by:

PKU CSCD

Abstract:

通过红外透射光谱研究了在光诱导退火中退火条件对氢化非晶硅薄膜的结构和光电特性的影响,实验所用样品采用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法制备。我们用桥键氢扩散模型来解释退火中的不同现象。样品的红外光谱在630和2000cm-1处的吸收系数有所增加,说明了原先的成键氢发生了移动和溢出,我们认为通过光诱导产生载流子的非辐射复合以及桥键氢和深俘获氢原子的交换,产生了大量的桥键氢原子,它们相互结合形成分子氢,氢溢出要优于氢团聚。

Keyword:

微波电子回旋共振 氢化非晶硅薄膜 傅立叶变换红外光谱 氢间隙扩散

Author Community:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料学院教育部新型功能材料重点实验室
  • [ 2 ] 北京工业大学材料学院教育部新型功能材料重点实验室 北京100022
  • [ 3 ] 北京100022

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Source :

功能材料

Year: 2005

Issue: 06

Page: 940-944

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