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煤燃烧产生的SO_2是大气污染的重要来源。化学传感器法是监测SO_2的实用方法之一,开发研制实时、原位监测SO_2的化学传感器,对于控制酸沉降十分必要。梳状电极电容式(IDC)SO_2传感器的原理是SO_2能够与有机物中的某些基团形成可逆的弱加合物,改变电介质的介电常数,使电容发生变化。可将对SO_2敏感的物质制成薄膜电容器,与一信号处理回路相连。当其暴露在一定浓度的SO_2气体中时,会导致IDC的电容发生变化。本文采用氧化硅片为基质制成IDC,用溶胶—凝胶技术将不同的有机敏感材料涂覆于其上,测定不同条件下的IDC的电容。得到此种电容的变化值与SO_2的浓度、敏感层的厚度的关系。
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化学传感器
Year： 2000
Issue： 04
Page： 9-13
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