Abstract：
＜正＞半导体工业致力于在单位面积/体积上铺满更多的结构单元以期得到更高密度,更快运算速度的光电子元器件.寻找高介电系数物质是半导体工业达到上述目标的必经之路.Ta2O5系氧化物是重要的高介电系数物质侯选材料之一.本研究用电子显微学的方法研究了激光法合成的高介电系数陶瓷
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Year： 2004
Language： Chinese
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