Abstract：
本文介绍了一种在沉积室样品台下方放置永磁体单元,以提高微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积速度的新方法。实验表明,采用这一方法可使沉积a-Si:H薄膜的速度提高一倍以上。
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Year： 2003
Language： Chinese
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