Abstract：
＜正＞氧化锌(ZnO)是一种具有六方纤锌矿晶体结构的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有宽禁带、低介电常数和高的光透过率等特性。其原料丰富易得、价格低廉,在非线性光学器件、发光器件、太阳能电池、紫外光探测器、声表面波器件、气敏传感器及集成光学等领域有重要的应用,产业化前景看好。因此ZnO薄膜已成为最具有开发潜力的薄膜材料之一。目前,已有许多报道用不同方法,如溅射法、化学气相沉积法等,在多种基片上生长ZnO薄膜,对ZnO薄膜材料发光特性的研究也
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Year： 2003
Language： Chinese
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