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根据双层辉光离子渗金属的基本物理过程，建立并求解了工艺过程中3个基本过程，即源极金属原子的溅射、空间输运和缺陷增强扩散的流量方程在宏观工艺参数条件下探讨了由气压、电压、极间距离和温度确定的渗层成分-深度随时间变化的模拟方法，讨论了由实际工艺条件转化为数学模型所采取的步骤，建立方程所依据的假定和简化的合理性，得出了与实验相吻合的计算结果．
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Source ：
北京工业大学学报
Year： 1998
Issue： 03
Page： 93-100
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