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在这篇文章中报导了多层Si/TiSi_2—Al和Si/TiSi_2(TiN)—W—Al系的研究情况。在研究过程中应用了透射电子显微镜(TEM),X射线微量分析和卢瑟夫反向散射波谱学测定法(RBS)来测定多层膜系的形成条件和分析膜系层的成分,相互扩散情况以及交界面上的结构,从而,揭示形成最大热稳定性多层系的条件。
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国外金属热处理
Year： 1995
Issue： 04
Page： 7-12,21
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