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方芳 (方芳.) | 许典煌 (许典煌.)

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干涉条纹瞄准是非接触尺寸测量的一门技术。作为一种新的瞄准方法,它不仅保持了普通接触式和非接触式瞄准的优点,而且显示出更好的性能和更高的精度。本文介绍了这种方法的基本原理,理论分析和实验总结。另外还就在工具显微镜上运用这种方法的一些具体问题作了说明。由于这种瞄准方法的精度高、成本低并且易于掌握它,在提高测量精度方面开始成为引人注目的新方法。

Keyword:

干涉条纹 工具显微镜 工件轮廓 双光束干涉法 偏心量

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  • [ 1 ] 北京工业大学

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Source :

宇航计测技术

Year: 1986

Issue: 04

Page: 48-53

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