Abstract：
测量分辨率和精度的不断提高是激光外差干涉测量的发展趋势,而抑制激光外差干涉测量精度进一步提升的主要因素是周期性非线性误差.提出了一种基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿方法.对非线性误差函数进行Morlet小波变换,利用小波系数矩阵信息提取小波脊线,分析小波脊线上的特征信息,重构一次谐波非线性误差;利用最小二乘非线性拟合方法迭代拟合出二次谐波非线性误差.实验结果表明,将此方法应用于激光外差干涉测量系统中,非线性误差分量由5.97 nm减小到1.09 nm,非线性误差分量减小至原来的18％.该方法可有效抑制非线性误差的影响,并提高激光外差干涉测量的精度.
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Source ：
中国激光
ISSN： 0258-7025
Year： 2022
Issue： 21
Volume： 49
Page： 139-144
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