为促进半导体产业的发展，实现关键技术自主可控，2014年以重视产业发展的顶层设计和创新性加大市场化政策工具力度为主要特征的《国家集成电路产业发展推进纲要》出台，我国半导体产业发展迈入了技术上“强长板、补短板”的发力冲锋阶段。为明确产业政策对半导体企业创新行为的影响，研究从新结构经济学视角出发，以《纲要》的出台为天然准自然实验，基于2012-2020年微观企业级面板数据，构建双重差分模型，进行实证检验。研究结果表明，产业政策的实施对半导体企业创新绩效，尤其是探索式创新，存在明显促进作用；对高资本密集度企业、非国有企业和成长期企业的积极作用更为显著；从更长时间窗口看，政策效果表现为先上升后下降。研究结论为产业政策制定过程中充分考虑市场与政府结合的方式和时机、遵循异质性规律精准施策提供参考。