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本发明涉及一种Al/WO3纳米复合薄膜及其制备方法和应用，该Al/WO3纳米复合薄膜的制备方法包括：提供WO3基底，然后通过磁控溅射在所述WO3基底上负载Al，所述WO3基底为水热法制备的海胆状纳米WO3薄膜材料。本发明所提供的简易制备Al/WO3纳米复合薄膜的方法，具有镀膜效率高、纯度高、溅射产物与基底结合力强、薄膜结构紧密稳定、成膜均匀性好且可精确控制的优点。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN202010975851.3
Filing Date： 2020-09-16
Publication Date： 2023-08-29
Pub. No.： CN112156769B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 授权 ; 许可
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