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本发明公开了一种热电子发射性能测试和表面形貌、元素价态分析的方法及装置，该装置包括样品的传输装置、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、热电子发射测量仪以及控制系统。样品传输装置内含有真空获取系统，为样品提供真空环境，以便与其他真空测试系统进行样品传输。X射线光电能谱仪、原子力显微镜、热电子发射测量仪的样品台均处于同一水平位置，并通过金属法兰相连接，通过自身位置调整接收样品传输装置传递的样品，并对其进行功能性表征。在不暴露在外界环境的条件下同时获得元素成分、化学价态、表面形貌结构以及电子发射性能等信息，具有功能多、效率高、测试结果真实可靠等特点，即可实现样品的热电子发射性能测试和表面的原位分析。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202310106801.5
Filing Date： 2023-02-13
Publication Date： 2023-05-12
Pub. No.： CN116106348A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 实质审查
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