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一种偏振敏感型超表面的飞秒激光高效制备方法属于飞秒激光微纳加工技术领域。采用飞秒激光直写的方式制备偏振敏感型的超表面，一方面可实现多层膜构型超表面的选区、大面积、灵活、高效、图案化、高精度制备；另一方面，基于飞秒激光超快特性使超表面纳米结构能够被连续调控，纳米结构的取向可根据激光偏振方向进行调控。上述制备方法可实现可多维度调控的等离激元超表面，并适用于较宽的波长范围，具有广泛的应用价值。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202211425635.7
Filing Date： 2022-11-14
Publication Date： 2023-03-14
Pub. No.： CN115781033A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 实质审查
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