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一种柔性氮化镓光电探测器的激光快速制备方法，包括以下步骤：1)将柔性衬底(5)贴附在氮化镓外延片上； 2)调整一束光束的焦平面位置，保证光束从氮化镓外延片的衬底侧入射； 3)使光束从步骤1)得到的一个样本结构的边缘扫描照射； 4)调整工艺参数，使其沿步骤3)的路径反向扫描照射; 5)去除外延片原有的刚性透明衬底(1)，得到Ga金属纳米颗粒(3)/氮化镓薄膜/柔性衬底(5)的结构； 以及6)在步骤5)得到的Ga金属纳米颗粒(3)表面制备叉指电极(4)。利用激光技术一步制备出Ga金属纳米颗粒(3)探测面原位分布的柔性氮化镓光电探测器，简化了工艺，同时在探测器表面诱导形成等离激元效应SPR，大大增强了光吸收和光响应性能，适合工业化生产。
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Type： 发明申请
Patent No.： WOCN21121981
Filing Date： 2021-09-30
Publication Date： 2023-02-09
Pub. No.： WO2023010676A1
Applicants： Beijing University Of Technology
Legal Status： 未进入国家阶段-PCT有效期内
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