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本发明属于TFT基板玻璃加工技术领域，具体公开了一种基于冷却定形速率的TFT基板玻璃退火工艺，对现有的保温阶段、慢冷阶段和快冷阶段三个阶段的加工参数形成了理论依据，为退火加工工艺提供数据支持，为本行业提供了极大的方便。采用本发明的退火工艺后，溢流法生产TFT基板玻璃退火质量得到极大的改善，再热收缩率及最大应力值都降低75％以上，OLED显示用TFT基板玻璃再热收缩率为5‑8ppm，LCD显示用TFT基板玻璃再热收缩率为24‑45ppm，TFT基板玻璃的板面最大应力为30‑60PSI。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN202011588018.X
Filing Date： 2020-12-28
Publication Date： 2022-07-22
Pub. No.： CN112777923B
Applicants： 北京工业大学;;彩虹显示器件股份有限公司
Legal Status： 授权
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