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本发明公开了一种用于激光显微检测的双光束合路方法与装置。所述方法包括：双路激光的并列布置设计和独立调节；双路激光光束的偏振状态调节、光束整形优化、偏转角度调节以及激光光束的合路与调节；并通过样品反射光分束至CCD，实现显微检测过程中的样品内部成像与观测。所述的装置包括：双光束合路单元外壳、盖板、固定螺钉、双路激光入口、偏振器件、光束整形器件、偏转镜、偏转调节器件、合束器件、合路激光调节器件、分光镜、CCD、合束激光出口等。通过实现双路激光的整形、偏转和调节，可支持激光显微检测系统对芯片等微结构微器件进行快速扫描、精确检测。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202110664441.1
Filing Date： 2021-06-16
Publication Date： 2022-01-14
Pub. No.： CN113933317A
Applicants： 北京工业大学;;北京琅东科技有限公司
Legal Status： 驳回
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