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本发明公开了一种皮秒-纳秒激光复合异步陶瓷抛光方法。 首先，使用皮秒激光器沿扫描路径扫描并照射陶瓷表面。 同时，陶瓷表面最初被平坦化，并且材料的电子态被皮秒激光去除，以产生微纳米粒子。 微纳米粒子以电离状态存在于被辐照陶瓷表面的相邻空间区域中。 然后，依预定时间使用低能量密度纳秒激光照射熔化这些微纳米粒子，可轻易地形成致密且光滑的细晶熔化层，以达到研磨的效果。 本发明解决了传统激光抛光工艺中产生微裂纹和气孔的问题。 它克服了传统激光抛光热影响区大，表面易产生微裂纹和气孔等缺点，实现了高效，高精度的亚微米级精细抛光，材料去除量极低。
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Type： 发明授权
Patent No.： US16727726
Filing Date： 2019-12-26
Publication Date： 2021-05-25
Pub. No.： US11014197B2
Applicants： Beijing University Of Technology
Legal Status： 授权
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