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本发明涉及一种使用对蓝宝石具有高透射率波长的皮秒级脉冲激光器高精度激光加工具有亚微米级剖面的蓝宝石的方法。 激光从蓝宝石的下表面触发超细相变点或电子态去除点。 在升高焦点后，形成与激光入射方向平行的轨迹。 在化学腐蚀环境下，激光迹线的点按照切割路径相互交叉排列，形成相应的相变区和电子态去除区。 同时利用皮秒激光的微热效应对化学腐蚀的催化作用，实现蓝宝石样品沿加工路径的分离。 本发明克服了高斯光束聚焦方式的局限性，实现了无锥度，无热影响区的高精度蓝宝石切割。 本发明实现了超细蓝宝石等材料的切割，切割面质量高，切割面在微米和亚微米范围内，不受厚度和工艺路线的限制。
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Patent Info ：
Type： 发明授权
Patent No.： US15771994
Filing Date： 2017-03-24
Publication Date： 2020-03-24
Pub. No.： US10596663B2
Applicants： Beijing University Of Technology
Legal Status： 授权
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