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本发明公开了一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构，该结构为一种增加供气面积，减弱气体流速从而使气膜内部的压力分布更加均匀，进而达到弱化气膜微振动的目的。一定压力的清洁干燥的气体通过进气孔后流进双层多孔材料，经双层多孔材料表面流入主轴和止推板之间，由多孔材料表面无数孔隙流出的气体，在主轴和止推板之间形成稳定的气膜，气膜包裹着主轴。施加载荷后，由于止推板上表面气膜与下表面气膜厚度不一致导致上、下气膜间产生了压力差，支承着止推板以平衡外载荷。本发明的双层材料可以充分发挥两种多孔材料(基底材料，致密层)的物理性能，从而弱化气膜波动，进一步提高了空气静压轴承的应用精度和气浮工作台的加工精度。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN201910242153.X
Filing Date： 2019-03-28
Publication Date： 2019-06-14
Pub. No.： CN109882506A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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