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本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法,该方法包括:使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照,得到具有特定波纹状表面微结构图案;再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为:激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性,能在一定范围内对其发光光谱进行调制,实现接近太阳光的白光发光;采用编程语言及脚本语言,如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径,实现任意指定图案的激光直写,控制制备白光发光图案的形状;使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位,且扫描速度可达2000mm/s,便于进行批量、大面积的加工。
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Patent Info :
Type: 发明授权
Patent No.: CN201610312525.8
Filing Date: 2016-05-11
Publication Date: 2019-05-31
Pub. No.: CN105931953B
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 授权
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