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本发明公开了一种准分子激光加工锥形微孔的方法及装置，该装置包括指示光(1)、准分子激光器(2)、掩模调换台(3)、掩模(4)、反射镜(5)、聚焦投影物镜(6)、样品放置台(7)、三维电控位移台(8)、电机驱动器(9)和计算机(10)。本发明通过在加工过程中改变掩模的大小来增大微孔的锥度，彻底改变目前精细锥形孔锥度小且难以控制等缺点，明显改善微孔锥度的目的；采用准分子激光器等气体激光器作为激光光源来加工锥形孔，由于气体光子能量较大，大于材料之间的化学键能，可以直接打断材料的化学键实现冷加工，获得较好的加工表面质量，同时具有加工精度高、可靠性高，材料对光的吸收率高以及无热影响区等优点。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN201810703941.X
Filing Date： 2018-07-01
Publication Date： 2018-11-20
Pub. No.： CN108838515A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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