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一种真空负压的气体静压超精密导轨结构属于精密测量、超精密加工、微型机械和纳米技术等技术领域。导轨通过导轨垫固定在基座上表面上；滑块环抱在导轨上，导轨的两侧面与滑块的内侧面间存在压缩气体气膜间隙，形成静压气浮状态；滑块的下底面上有压缩气体气流小孔和真空腔，滑块内有真空吸附气流孔；其特征在于：滑块设计为对称的封闭式结构，真空腔与滑块具有相同的对称中心线；滑块和基座上表面间存在压缩气体气膜间隙；导轨的上表面和滑块的内上表面间隙尺寸为c，导轨的下表面和滑块的内下表面间隙尺寸为d；c和d为不小于导轨自身重量导致的变形量。导轨的导向精度高，精度保持性好，刚度高。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN200910243655.0
Filing Date： 2009-12-18
Publication Date： 2011-12-14
Pub. No.： CN101737426B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 未缴年费
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