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超声雾化热分解法制备钇系高温超导长带的装 置属于超导材料技术领域,包括有输入气体到质量流量控制仪 的氩气瓶、氧气瓶,从质量流量控制仪输出气体到沉积室、雾 化室,与雾化室相连的超声源,固定在沉积室上的移动部件, 驱动移动部件的电机,与沉积室连接的控温仪,与质量流量控 制仪连接的流量显示仪。其特征在于利用了通用超声波加湿器 电控部件组成超声源,雾化室固定在超声源的机壳上方,雾化 室载气入口方向为其侧壁的切线方向,管式炉与套在其内部的 石英管组成沉积室,移动部件主要由外面套有陶瓷管并穿过沉 积室的主轴组成,主轴在旋转的同时可产生水平位移。本装置 经过实验证明完全可实现在织构的银基带上沉积钇系超导长 带的要求。
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Patent Info :
Type: 实用新型
Patent No.: CN02235932.X
Filing Date: 2002-06-04
Publication Date: 2003-08-20
Pub. No.: CN2567739Y
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 未缴年费
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