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一种金属基复合电封装热沉材料及其制备方法,属于微电子器件电封装材料及其制造技术领域,所述材料由金属基体和分布在金属基体中的增强物SiC颗粒构成,其特征是,所述的金属基体为Cu,所述SiC颗粒的体积百分含量或颗粒尺寸呈多层梯度分布。其制备方法依次包括粉末还原、混合、烘干、压坯、包套、抽真空封焊、热管静压、切割成型,其特征是:在热等静压后,还增加一热处理工序。本发明可同时较好地满足对材料高热导、低膨胀两方面的需求。$#!
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Type: 发明授权
Patent No.: CN98117773.5
Filing Date: 1998-09-18
Publication Date: 2001-11-07
Pub. No.: CN1074574C
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 未缴年费
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