Abstract：
采用脉冲激光沉积技术在真空腔中制备了ZnSe∶Co薄膜.研究了沉积压强对等离子体羽辉传播、薄膜表面形貌,微结构以及光学性质的影响.结果表明,随着压强的增大,等离子体羽辉在空间的传播距离减小,薄膜沉积方式由溅射式沉积转变为吸附式沉积,薄膜的结晶质量得到大幅提升.此外,薄膜的光学带隙随压强的增大而减小,低压条件下制备的薄膜具有较大的带隙值,这与量子限域效应有关.当压强增大到10 Pa时,得到了沿(111)方向择优生长且结晶质量优秀的微晶薄膜.
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Source ：
真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
Year： 2023
Issue： 12
Volume： 43
Page： 1041-1047
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