Abstract：
实现精密测量的前提在于被测物理量的准确获取,目前高精度且昂贵的数控齿轮测量仪器得到普遍应用.然而模数小于0.1 mm、直径小于1 mm的微型齿轮由于齿槽宽度过小,传统的接触式测量手段无法测量完整齿廓.光学测量手段也因轮齿遮挡和齿面倾角的限制存在无法获取齿根数据的问题.针对此现状,提出了一种基于白光干涉测量原理的微小齿轮高精度测量方法.根据干涉图样的出现顺序实现对微小齿轮端面倾斜程度的实时监测,确保了齿轮轮廓的提取精度;基于齿轮端面三维点云数据确定齿轮中心,有效提升了齿轮定心精度.重点介绍了面向微小齿轮的白光干涉测量原理、端面调平模型以及齿轮误差计算方法.试验结果表明,该方法能够实现对微小齿轮的高精度测量,为解决微小齿轮的精密测量提供了有效手段.
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计量科学与技术
ISSN： 2096-9015
Year： 2024
Issue： 4
Volume： 68
Page： 3-10
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