Abstract:
驱动电路是石英振梁加速度计的重要组成部分,直接决定加速度计的性能.针对传统石英振梁驱动电路输出波形单一、噪声控制效果较差的问题,使用等效电路法对石英振梁进行理论和仿真分析,并使用阻抗分析仪测得了石英振梁的阻抗特性.以此为基础,设计了一种输出高质量正弦波的石英振梁加速度计低噪声驱动电路.该电路使用电荷放大器电路实现对石英振梁电流的低噪声检测,引入了静态电容补偿电路提升电路性能.实验结果表明,本驱动电路可正常驱动石英振梁,输出为标准正弦波.白噪声的频谱密度约为140 μHz/Hz1/2,依据配套加速度计80 Hz/g的标度因数,等效的加速度分辨率为 1.75 μg/Hz1/2,证明了理论分析和电路设计的合理性.
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导航与控制
ISSN: 1674-5558
Year: 2024
Issue: 3
Volume: 23
Page: 13-19,96
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