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提出了一种应用于MEMS压力传感器的高精度Σ-ΔA/D转换器。该电路由Σ-Δ调制器和数字抽取滤波器组成。其中,Σ-Δ调制器采用3阶前馈、单环、单比特量化结构。数字抽取滤波器由级联积分梳状(CIC)滤波器、补偿滤波器和半带滤波器(HBF)组成。采用TSMC 0.35μm CMOS工艺和Matlab模型对电路进行设计与后仿验证。结果表明,该Σ-ΔA/D转换器的过采样比为2 048,信噪比为112.3 dB,精度为18.36位,带宽为200 Hz,输入采样频率为819.2 kHz,通带波纹系数为±0.01 dB,阻带增益衰减为120 dB,输出动态范围为110.6 dB。
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微电子学
Year： 2019
Issue： 02
Volume： 49
Page： 159-163
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