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提出了一种应用于MEMS压力传感器的高精度∑-Δ A/D转换器.该电路由∑-Δ调制器和数字抽取滤波器组成.其中,∑-Δ调制器采用3阶前馈、单环、单比特量化结构.数字抽取滤波器由级联积分梳状(CIC)滤波器、补偿滤波器和半带滤波器(HBF)组成.采用TSMC 0.35 μmCMOS工艺和Matlab模型对电路进行设计与后仿验证.结果 表明,该∑-Δ A/D转换器的过采样比为2 048,信噪比为112.3 dB,精度为18.36位,带宽为200 Hz,输入采样频率为819.2 kHz,通带波纹系数为±0.01 dB,阻带增益衰减为120 dB,输出动态范围为110.6 dB.
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微电子学
ISSN： 1004-3365
Year： 2019
Issue： 2
Volume： 49
Page： 159-163
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