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提出了一套应用于准分子激光微加工同轴观测的自动跟踪系统.该系统具有一定的抗抖动能力.首先介绍了该系统的硬件组成部分:(1)显微镜的镜片改造.(2)机械控制平台的搭建,该部分内容介绍了各个硬件的功能以及它们之间的相互关系.然后简单介绍了该系统的跟踪原理,主要包括部分重点算法的介绍以及控制软件判断流程图.分析了在打开/关闭跟踪功能后,通道的加工质量差别.分析了打开/关闭跟踪功能后中心位移的偏移量差别,验证了自动跟踪的抗振动功能.最后,针对该系统功能进行了实验,成功实现了对预设曲线(对应于微通道的轨迹曲线)进行刻蚀加工的跟踪功能.
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应用激光
ISSN： 1000-372X
Year： 2013
Issue： 2
Volume： 33
Page： 208-211
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