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为了提高980 nm半导体激光器的可靠性,采用氦离子注入形成腔面电流非注入区技术制作了4μm条宽的脊形波导激光器,并利用同一块外延片制作了常规工艺的4 μm脊形波导激光器作为对比.经过长期老化实验得知:常规工艺器件在1500 h前全部失效,而采取新技术的器件寿命超过了3000 h.通过对器件的扫描电镜分析发现,腔面灾变性损伤、铟焊料的质量和腔面污染等因素对器件失效有直接影响.
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激光与光电子学进展
ISSN： 1006-4125
Year： 2012
Issue： 9
Volume： 49
Page： 127-131
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