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提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构.进行了相关的结构和工艺设计,在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热,工艺结构简单,使用寿命长的微感应加热器.使用ANSYS对微感应加热器进行了建模和仿真分析,结果显示:感应加热器的最大加热功率可达到5 mW以上,满足设计要求,同时得到了感应加热器的功率影响因素.
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传感器与微系统
ISSN： 1000-9787
Year： 2011
Issue： 12
Volume： 30
Page： 109-111,118
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