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定位误差是测高仪的主要误差源之一,为了提高测高仪的测量精度,研究了数字式测高仪定位误差的测量及补偿方法。以某公司生产的数字式测高仪为研究对象,以德国SIOS公司微型双平面镜干涉仪SP-D为高精度的标准量,实现了数字式测高仪定位误差的测量。采用二次多项式拟合的方法对测量数据进行曲线拟合,拟合前后的测量数据差值作为校正定位误差的偏差值,从而实现定位误差的补偿。实验结果表明,当测高仪滑座向上移动时,定位误差由0.009 3 mm减小到补偿后的0.004 6 mm,测高仪滑座向下移动时,定位误差由0.010 7 mm减小到补偿后的0.004 8 mm。
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机电工程
Year： 2011
Issue： 02
Volume： 28
Page： 141-143
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