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周永强 (周永强.) | 王立新 (王立新.) | 张万荣 (张万荣.) | 夏洋 (夏洋.) | 谢红云 (谢红云.) | 丁春宝 (丁春宝.)

Indexed by:

CQVIP PKU

Abstract:

金属键合线互连是射频大功率晶体管内匹配技术中的关键手段.键合线的直径、长度、拱高和并列键合线间距等物 理参量,均对器件性能有很大影响.采用三维电磁仿真软件EMDS和射频电路设计软件ADS对金属键合线互连进行了建模 仿真和射频等效参数提取,分析了等效参数与键合线各物理参量之间的关系,针对具体的关系特点及内匹配技术中键合线的 选取,给出了相应的优化设计措施.

Keyword:

射频功率晶体管 建模 参数提取 内匹配 键合线

Author Community:

  • [ 1 ] [周永强]中国科学院微电子研究所
  • [ 2 ] [王立新]中国科学院微电子研究所
  • [ 3 ] [张万荣]北京工业大学
  • [ 4 ] [夏洋]中国科学院微电子研究所
  • [ 5 ] [谢红云]北京工业大学
  • [ 6 ] [丁春宝]北京工业大学

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Source :

电子器件

ISSN: 1005-9490

Year: 2011

Issue: 4

Volume: 34

Page: 363-366

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