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用实验测量和理论计算相结合的方法提取了Si/SiGe异质结晶体管的直流和高频参数,分别在PSPICE和MATLAB软件平台上模拟并分析了器件的直流和高频特性,模拟结果与实际测量的结果相吻合,表明本文的提取方法可行、参数提取结果有效.
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Source ：
半导体技术
ISSN： 1003-353X
Year： 2004
Issue： 11
Volume： 29
Page： 41-44
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