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用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片.采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理.进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律.结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法.
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Source ：
微纳电子技术
ISSN： 1671-4776
Year： 2006
Issue： 1
Volume： 43
Page： 47-49,54
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