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半导体工业致力于在单位面积/体积上铺满更多的结构以期得到更高密度、更快运算速度的光电子元器件.寻找高介电系数物质是半导体工业达到上述目标的必经之路.Ta2O5系氧化物是重要的高介电系数物质候选材料之一.
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Source ：
电子显微学报
ISSN： 1000-6281
Year： 2005
Issue： 4
Volume： 24
Page： 347
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