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利用负偏压增强热丝化学气相沉积,在沉积过渡层Ta和催化剂NiFe层的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的形貌.发现辉光放电后,碳纳米管的平均长度比无辉光放电时大,并且随着负偏压的增大而增大,即辉光放电增大了它们的生长速率.结合辉光放电和扩散理论分析了辉光放电对碳纳米管生长速率的影响,结果表明在生长碳纳米管的过程中,由于辉光放电的产生,碳在催化剂中的活度得到增强,从而增大了碳纳米管的生长速率.
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真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
Year： 2003
Issue： 6
Volume： 23
Page： 404-407
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