Abstract：
＜正＞ 用蒸发方法制备非晶硅薄膜,具有制备方法简单,淀积速率快,实验周期短,成本低等特点.但也存在一些问题,主要是用蒸发方法制备的非晶硅薄膜含有大量的宏观缺陷,如孔洞等.这样使非晶硅薄膜具有高密度的局域态,给掺杂带来很大困难.我们用蒸发方法制备非晶硅的研究是初步的,测试的数据还不完善.
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Source ：
贵金属
Year： 1981
Issue： 04
Page： 71-72
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 5
Affiliated Colleges：
