Abstract：
化学气相沉积(CVD)是近几十年发展起来制备无机材料的技术,CVD反应室内部的流场分布是影响产物的质量及产量的关键因素,本文建立了化学气相沉积炉的三维简化模型,并对其进行了不考虑温度条件下的纯气体湍流模拟研究。根据对模拟结果的分析可知,随高度增加,沉积炉内流场分布越来越混乱,且气体流速呈上升趋势。
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Year： 2022
Language： Chinese
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