Abstract：
化学气相沉积(CVD)法是目前制备C/C复合材料的首选方法，沉积炉内流场的均匀性直接影响目标产物的质量及产量。本文建立了CVD法制备C/C复合材料的沉积炉内气体流动仿真模型，采用计算流体力学方法对沉积炉内流场进行模拟，并研究主要工艺参数对沉积炉内流场分布的影响规律。结果表明，产品区域气体呈现低速均匀的流动特征，真空度增大会导致沉积炉内气体流速显著增加，但对流场均匀性几乎无影响；采用各路相同的送气方式时沉积炉内流场分布比中心增大的送气方式更均匀；较小进气量可以使沉积炉内流场更均匀。
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Source ：
炭素技术
Year： 2023
Issue： 03
Volume： 42
Page： 16-22
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