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一种准分子激光辅助微铣削加工方法与装置，属于激光辅助加工技术领域。该加工系统主要由激光器、计算机，激光匀束器，掩膜及掩膜调换台，聚焦物镜，光路偏折系统，微铣削系统，旋转工作台及微移动工作台组成，在激光与微铣刀相对固定的前提下，增加一微移动工作台，通过移动工件的方法改变工件相对于激光的位置，从而实现准分子激光辅助微铣削加工。本发明实现了用准分子激光光源来辅助铣削加工工件，为微小零件的加工提供了一种新的方法。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN201710783580.X
Filing Date： 2017-09-04
Publication Date： 2017-12-01
Pub. No.： CN107414284A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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