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一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法，属于激光领域。其包括以下步骤：将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后叠放置于加工平台，模板置于玻璃基片上方，利用CO2激光在模板上离焦辐照，离焦距离约为30‐50㎜，激光功率为40～50W，辐照时间10～60s；停止辐照，吹气体冷却5～10s，完成加工。本发明适用于在玻璃基片上加工微透镜或微透镜阵列，透镜孔径及间距由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定，而透镜深度可通过辐照的功率密度及时间来控制，加工灵活性强。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN201310152515.9
Filing Date： 2013-04-27
Publication Date： 2013-08-21
Pub. No.： CN103253851A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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