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本发明涉及一种处理挥发性有机物的低温等离子体装置，属于挥发性有 机废气的处理领域。本装置中的进气口(1)通过渐扩器(2)与反应器壳体(10) 连接，在反应器壳体(10)的内部设置有高压极板(4)，高压极板(4)与反应 器壳体(10)相连接。高压极板(4)上均匀分布有用于产生等离子体的高压 极喷嘴(5)，高压极板(4)与反应器壳体(10)之间设置有接地极板(7)， 接地电极(7)与反应器壳体(10)之间留有用于气体通过的间隙。在反应器 壳体(10)的两个侧面上设置有出气口(12)。本发明提高了等离子体的利 用率，介质阻挡层避免了电弧的产生，并且结构简单，适用性强，处理效率 高，运行费用低。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN200710099587.6
Filing Date： 2007-05-25
Publication Date： 2009-08-05
Pub. No.： CN100522320C
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 未缴年费 ; 一案双申
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