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本实用新型是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有：平行板电容驱动器，平行板电容传感器，梳状电容驱动器，梳状电容传感器，接地电极，拉伸驱动电极，扭转驱动电极，拉伸检测电极，扭转检测电极。实验过程中，通过拉伸驱动电极和扭转驱动电极分别为平行板电容驱动器和梳状电容驱动器提供交流电信号，使疲劳试样同时受到交变的拉伸和扭转应力。平行板电容传感器和梳状电容传感器分别通过拉伸检测电极和扭转检测电极接直流电，可以检测疲劳试样的拉伸和扭转幅度。该微疲劳试验结构装置具有加工容易，操作简便等特点，对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。
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Type： 实用新型
Patent No.： CN200620158419.0
Filing Date： 2006-11-10
Publication Date： 2007-12-19
Pub. No.： CN200993629Y
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 避免重复授权 ; 一案双申
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