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针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题,采用比对测量原理,以激光干涉仪为基准,提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试验方案,通过实验法研究了速度与加速度对长光栅测量精度的影响;基于精密气浮导轨、激光干涉仪和数控技术,研制出了长光栅动态特性试验系统.该试验台采用卧式结构,主要由机械系统、伺服系统、数据采集处理系统和软件系统组成,具有精度检测、动态性能测试和寿命试验的功能.精度分析结果表明:该试验系统的综合不确定度为0.124 μm,即满足试验台对精度为0.5 μm的光栅进行检测的精度要求.
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机电工程
ISSN： 1001-4551
Year： 2013
Issue： 5
Volume： 30
Page： 549-551,561
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